КОМПЛЕКС ПРОГРАММНО-АППАРАТНЫЙ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ТОНКИХ ПЛЕНОК

Производитель

Белорусско-Российский университет

Страна

Беларусь

Год выпуска

2012

Назначение

Прибор для контроля параметров тонкопленочных покрытий в производстве интегральных схем, изготовлении оптических волноводов, дисплеев, тонкопленочных полимерных материалов и оптическом приборостроении:

–   просветляющие покрытия в оптике или структуры типа SiO2-Si погрешность  определения показателя преломления и коэффициента поглощения, толщины пленки в таких структурах не превышают 10  4 и 3 %, соответственно;

–  оптические волноводы и пленки с высоким показателем преломления на низкопреломляющей подложке – измерение оптических потерь мод, коэффициента поглощения пленки в спектральном диапазоне от 0,4 до

1 мкм для пленок толщиной около 1 мкм с относительной погрешностью не хуже 0,03, показателя преломления ‒ 10 4 и толщину пленки с точностью ~3 %;

–          многослойные структуры (оксинитрид-нитрид кремния) ‒ погрешность определения показателя преломления, коэффициента поглощения и толщины слоев не превышают 5´10 4, 10 % и 1 %, соответственно;

–  диэлектрический слой на металлической подложке ‒ оценка толщины диэлектрических нанослоев;

–      полимеры ‒ контроль показателя преломления, коэффициента поглощения и их изменений, обусловленных облучением, оценка ориентации молекул полимера.

Основные технические характеристики

–      определение   показателя   преломления   с   точностью   10  4,   что

практически на порядок лучше других методов;

отсутствие   необходимости   знания   априорной   информации   о толщине или показателе преломления пленки;

–  неограниченный выбор комбинации пленка-подложка;

–   определение показателя преломления и коэффициента поглощения объемных металлов;

–  измерение коэффициента поглощения > 2 cm 1 для пленки толщиной менее 1 мкм;

–     контроль  параметров  световых  пучков  (спектр  интенсивности  и спектр излучения          пространственные и временные частоты)